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e-Rack
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專案
參數
設備型號
e-Rack
外型尺寸
L1100*W900*H1200mm
物料種類
Foup/Cassette/Mask等半导体物料
FOUP規格
L440mm*W350mm*H340mm
儲存容量
8个FOUP/Cassette
智能看板
触控屏
使用環境
周围湿度 35~85%周围温度 20~25℃
電源
移动电源
RFID規格
发信频率134.2KHz,感应距离R80mm
靜電防護
设备外部结构接地,设备电源接地<1Ω
防静电处理材质储位,表面阻值106-1011Ω
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