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e-Rack

产品介绍

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專案 參數
設備型號 e-Rack
外型尺寸 長1400mm*寬500mm*高1700mm
物料種類 Foup/Cassette/Mask等半導體物料
FOUP規格 長440mm*寬350mm*高340mm
儲存容量 12个FOUP/Cassette
信息廣告牌 依據客戶需求定製廣告牌
使用環境 周圍溫度0~40℃,周圍濕度35~85%
電源 3ψ 220V 50Hz
RFID規格 發信頻率134.2KHz,感應距離R80mm
靜電防護 防靜電處理材質儲位,表面阻值106-1011Ω
設備外部結構接地,設備電源接地
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