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项目

参数

设备型号

AMHS/OHT

外型尺寸

(不含机械手臂) L600*W450*H850mm

物料种类

Foup/Cassette/Mask等半导体物料

充电方式

轨道滑触线以及锂电池定点充电

机械手精度

0.5~1mm

驱动方式

双向驱动,无线监控

行走速度

0.6~3.5m/s

通讯方式

SECS/GEM (E84)

视觉系统

RFID获取轨道位置

系统控制

控制硬件系统  感测系统 远端控制及车流控制统

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