> 半导体智慧物流整体解决方案
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项目
参数
设备型号
AMHS/OHT
外型尺寸
物料种类
Foup/Cassette/Mask等半导体物料
充电方式
轨道滑触线以及锂电池定点充电
机械手精度
0.5~1mm
驱动方式
双向驱动,无线监控
行走速度
0.6~3.5m/s
通讯方式
SECS/GEM (E84)
视觉系统
RFID获取轨道位置
系统控制
控制硬件系统 感测系统 远端控制及车流控制统