倉儲型號

i-Stock Semi

外型尺寸

長11560mm*寬4600mm*高3000mm

物料種類

MASK/Reticle

規格

長230mm*寬215mm*高75mm

儲存容量

1500-2000個MASK

存/取時間

30-55s/箱

電源

3ψ 220V 50Hz

靜電防護

1. 防靜電處理材質儲位，表面阻值10⁶-10¹¹Ω

2. 設備外部結構接地，設備電源接地

溫度濕度監測

1. 監測範圍：溫度-40~100℃，濕度0~100%RH

2. 監測精度：溫度±0.5℃，濕度±5%RH