| 外型尺寸 | 长11560mm*宽4600mm*高3000mm |
| 物料规格 | 料箱式，兼容7/13寸料盘/Foup/真空包装/Tray包装/PCBA半成品 |
| 料箱规格 | 长800mm*宽6mm*高120mm |
| 存取容量 | 300箱，48000卷(7寸8mm) |
| 存取时间 | 30-55s/箱 |
| 电源 | 3ψ 220V 50Hz |
| 静电防护 | 1.防静电处理材质储位，表面阻值106-1011Ω
2.设备外部结构接地，设备电源接地 |
| 温度湿度监测 | 1.监测范围:温度-40~100℃，湿度0~100%RH
2.监测精度:温度±0.5%℃，湿度±5%RH |
