我国的半导体产业正在飞速发展，对于空气洁净度的控制也日益严格。半导体行业对于空气洁净度有着极高的要求，这是因为微小的颗粒和污染物都可能对半导体器件的性能产生重大影响。今天，本文就来揭秘半导体行业空气洁净度的等级划分和适用场景。

空气洁净度

半导体材料的无尘车间洁净度标准主要分为多个等级，从高到低依次为：1级，10级，100级，1000级，10000级。其中，1级洁净度标准是最高的，要求非常严格，而10000级洁净度标准相对宽松一些。

等级定义的模式如下：

Class X (at Y μm )

其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。

class10000

指每立方米空气中直径大于或等于0.5μm的尘埃粒子不超过10000颗，大于或等于5μm的尘埃粒子不超过70颗。

万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，在医工业中也很常用。

class1000

指每立方米空气中直径大于等于0.5μm的尘埃粒子数量不超过1000颗，大于或等于5μm的尘埃粒子不超过7颗。

相较于万级洁净度，千级洁净度对空气中的颗粒物控制更为严格。此类洁净度通常应用于半导体工厂的关键生产区域，如晶圆制造、封装测试等。

class100

指每立方米空气中直径大于等于0.5μm的尘埃粒子数量不超过100颗。

此外，对于微生物的要求也非常严格，要求完全无微生物存在。可用于医药工业的无菌制造工艺等。

class10

指每立方米空气中直径大于或等于0.1μm的尘埃粒子数量不超过350颗，大于或等于0.3μm之灰尘粒子不超过30颗，大于或等于0.5μm之灰尘粒子不超过10颗。这个级别的洁净度通常用于半导体制造过程中的超净生产区域，如芯片制造、纳米技术等。

class1

指每立方米空气中直径大于等于0.5μm的尘埃粒子数量不超过1颗。无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求为亚微米。目前1级的洁净室在整个中国都非常少见。